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電容測微儀為一種非接觸式的位移測量儀器，它由電容傳感探頭和傳感及供電模塊組成。它可以測量 0~1mm范圍內的微小位移，測量精度高達納米級。
產品特點
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原理 它基于一個理想的平行板電容器原理，傳感器與相對面被測目標形成的兩個電極，采用保護環電容器原理，用于測量任何金屬時，傳感器仍是線性的。 
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產品組成 芯明天具有多種量程的電容傳感測頭，測量范圍可選100μm~1mm范圍。它可組合機箱式E09、板卡式E09或小體積E75傳感及供電模塊中的任意一種使用。 
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型號解讀（電容測微儀） |
型號解讀（電容傳感測頭） |
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E09機箱式傳感及供電模塊 
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E09板卡式傳感供電模塊（無供電） 
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E75小體積傳感及供電模塊 |
典型應用
芯明天電容測微儀適用于高精度定位、角度/直線振動測量、厚度檢測（薄膜厚度測量、晶圓厚度測量、剎車盤厚度測量、油膜厚度測量等）、旋轉機械間隙測量、跳動測量（軸跳測量等）、自動對焦或調零、介電常數測量、天文望遠鏡鏡片定位、外徑測量、形變測量等。
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| 振動，振幅，間隙，跳動 | 撓度，形變，紋波度，傾角 | 扭曲，形變，軸向振動 | 位移，距離，位置，伸長率 |
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| 尺寸，尺寸公差，篩選，部件識別 | 絕緣體厚度測量 | 在線檢測，尺寸檢測 | 雙側厚度檢測 |
可選配測試支架
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| 磁力表座 | 大理石測試支架 |
| 產品目錄 | |||||||||
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序號 |
電容測微儀型號 |
測量范圍 [μm] |
通道數 |
探頭型號 |
探頭分辨率 [nm] |
探頭線性度 [nm] |
測頭重復度 [nm] |
傳感及供電 |
詳情頁 |
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1 |
E01.CapX[1]-100 |
0~100 |
1~6 |
C01D10 |
1.25 |
50 |
2.5 | 機箱式 | |
|
2 |
E01.CapX[1]-200 |
0~200 |
1~6 |
C02D10 |
2.5 |
100 |
5 |
機箱式 |
|
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3 |
0~200 |
1~6 |
C02F13 |
2.5 |
100 |
5 |
機箱式 |
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4 |
E01.CapX[1]-500 |
0~500 |
1~6 |
C05D10 |
5 |
200 |
10 |
機箱式 |
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|
5 |
E01.CapX[1]-1000 |
0~1000 |
1~6 |
C1D10 |
10 |
400 |
20 |
機箱式 |
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6 |
E00.CapX[2]-100 |
0~100 |
7~12 |
C01D10 |
1.25 |
50 |
2.5 |
機箱式 |
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|
7 |
E00.CapX[2]-200 |
0~200 |
7~12 |
C02D10 |
2.5 |
100 |
5 |
機箱式 |
|
|
8 |
0~200 |
7~12 |
C02F13 |
2.5 |
100 |
5 |
機箱式 |
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9 |
E00.CapX[2]-500 |
0~500 |
7~12 |
C05D10 |
5 |
200 |
10 |
機箱式 |
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|
10 |
E00.CapX[2]-1000 |
0~1000 |
7~12 |
C1D10 |
10 |
400 |
20 |
機箱式 |
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11 |
E75.Cap1-100 |
0~100 |
1 |
C01D10 |
1.25 |
50 |
2.5 | 小體積式 | |
|
12 |
E75.Cap1-200 |
0~200 |
1 |
C02D10 |
2.5 |
100 |
5 |
小體積式 |
|
|
13 |
0~200 |
1 |
C02F13 |
2.5 |
100 |
5 |
小體積式 |
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14 |
E75.Cap1-500 |
0~500 |
1 |
C05D10 |
5 |
200
|
10 |
小體積式 |
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15 |
E75.Cap1-1000 |
0~1000 |
1 |
C1D10 |
10 |
400 |
20 |
小體積式 |
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16 |
E09.Cap1-100 |
0~100 |
1 |
C01D10 |
1.25 |
50 |
2.5 | 板卡式，無供電模塊 | |
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17 |
E09.Cap1-200 |
0~200 |
1 |
C02D10 |
2.5 |
100
|
5 |
板卡式，無供電模塊 |
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18 |
0~200 |
1 |
C02F13 |
2.5 |
100 |
5 |
板卡式，無供電模塊 |
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19 |
E09.Cap1-500 |
0~500 |
1 |
C05D10 |
5 | 200 | 10 |
板卡式，無供電模塊 |
點擊查看 |
| 20 |
E09.Cap1-1000 |
0~1000 |
1 |
C1D10 |
10 | 400 | 20 |
板卡式，無供電模塊 |
點擊查看 |
注：
[1]：X代表通道數，范圍可選1~6；
[2]：X代表通道數，范圍可選7~12；
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陶瓷轉接頭 |
氧化鋁轉接頭 |
金屬轉接頭 |
促動器柔性轉接頭 |
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鎢鋼墊片 |
熱穩定散熱片 |
促動器與平臺轉接座 |
促動器測試支架 |
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粘鏡片膠水 |
P34 鏡片轉接架 |
P32/ P33 鏡片轉接架 |
P32/P33 鏡片轉接座 |
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P22 測試支架 |
P32/P33 測試支架 |
P34 測試支架 |
P31/P54 測試支架 |
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BNC轉LEMO |
BNC轉魚夾 |
單芯LEMO座轉魚夾 |
單芯LEMO線 |
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BNC連接頭轉魚夾 |
LEMO 連接器 |
測試支架 |
磁力表座 |
