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電容測微儀為一種非接觸式的位移測量儀器，它由電容傳感探頭和傳感及供電模塊組成。它可以測量 0~1mm范圍內的微小位移，測量精度高達納米級。
產品特點
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 需外接電源 |
方形電容傳感測頭 |
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原理 它基于一個理想的平行板電容器原理，傳感器與相對面被測目標形成的兩個電極，采用保護環電容器原理，用于測量任何金屬時，傳感器仍是線性的。 
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外形尺寸圖 |
典型應用
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| 振動，振幅，間隙，跳動 | 撓度，形變，紋波度，傾角 | 扭曲，形變，軸向振動 | 位移，距離，位置，伸長率 |
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| 尺寸，尺寸公差，篩選，部件識別 | 絕緣體厚度測量 | 在線檢測，尺寸檢測 | 雙側厚度檢測 |
| 技術參數 | |||
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型號 |
E09.Cap1-200 |
單位 |
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| 通道數 | 1 |
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| 電容傳感探頭 |
型號 |
C02F13 |
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量程范圍 |
0~200 |
μm |
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靜態分辨率 |
2.5 |
nm |
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動態分辨率（1kHz） |
100 |
nm |
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線性度 |
100 |
nm |
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重復度 |
5 |
nm |
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傳感器直徑 |
9 |
mm |
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被測表面最小直徑 |
9 |
mm |
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傳感器線長 |
2 |
m |
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固定方式 |
徑向裝夾 |
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探頭尺寸 |
13×13×4.3 |
mm |
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重量（含線及連接器） |
33 |
g |
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傳感信號處理與供電 |
通道數
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1 |
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傳感器模式 |
CAP |
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靜態分辨率 |
0.00125 |
%F.S. |
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| 動態分辨率（2kHz） | 0.05 |
%F.S. |
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| 模擬信號輸出速度 | 2 |
kHz |
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絕對誤差 |
±0.2 |
%F.S. |
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線性度 |
0.05 |
%F.S. |
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重復精度 |
0.0025 |
%F.S. |
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信號溫度穩定性 |
＜0.005 |
%FSO/℃ |
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長期穩定性 |
＜0.004 |
%FSO/月 |
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帶寬 |
2 |
kHz（-3dB） |
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工作溫度 |
-10~+50 |
℃ |
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存儲溫度 |
-10~+75 |
℃ |
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環境濕度 |
＜85 |
% | |
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供電電壓 |
24V DC/±50mA |
V | |
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電壓輸出范圍（模擬） |
0~10 |
V | |
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傳感器輸出接口 |
BNC |
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尺寸（L×W×D） |
35.2×129 ×171.5 |
mm |
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注：本板卡式電容測微儀無供電模塊，需外接電源。預熱時間約30分鐘。
