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電容測(cè)微儀為一種非接觸式的位移測(cè)量?jī)x器，它由電容傳感探頭和傳感及供電模塊組成。它可以測(cè)量 0~1mm范圍內(nèi)的微小位移，測(cè)量精度高達(dá)納米級(jí)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
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 方形電容傳感測(cè)頭 |
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原理 它基于一個(gè)理想的平行板電容器原理，傳感器與相對(duì)面被測(cè)目標(biāo)形成的兩個(gè)電極，采用保護(hù)環(huán)電容器原理，用于測(cè)量任何金屬時(shí)，傳感器仍是線性的。 
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外形尺寸圖 |
典型應(yīng)用
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| 振動(dòng)，振幅，間隙，跳動(dòng) | 撓度，形變，紋波度，傾角 | 扭曲，形變，軸向振動(dòng) | 位移，距離，位置，伸長(zhǎng)率 |
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| 尺寸，尺寸公差，篩選，部件識(shí)別 | 絕緣體厚度測(cè)量 | 在線檢測(cè)，尺寸檢測(cè) | 雙側(cè)厚度檢測(cè) |
| 技術(shù)參數(shù) | |||
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型號(hào) |
E75.Cap1-200 |
單位 |
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| 電容傳感探頭 |
型號(hào) |
C02F13 |
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量程范圍 |
0~200 |
μm |
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靜態(tài)分辨率 |
2.5 |
nm |
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動(dòng)態(tài)分辨率（1kHz） |
100 |
nm |
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線性度 |
100 |
nm |
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重復(fù)度 |
5 |
nm |
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傳感器直徑 |
9 |
mm |
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被測(cè)表面最小直徑 |
9 |
mm |
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傳感器線長(zhǎng) |
2 |
m |
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固定方式 |
徑向裝夾 |
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探頭尺寸 |
13×13×4.3 |
mm |
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重量（含線及連接器） |
33 |
g |
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傳感信號(hào)處理與供電 |
型號(hào)
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E75.CapA1-H |
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傳感器模式 |
CAP |
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單模塊通道數(shù) |
1 |
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靜態(tài)分辨率 |
0.00125 |
%F.S. |
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| 動(dòng)態(tài)分辨率（2kHz） | 0.05 |
%F.S. |
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| 模擬信號(hào)輸出速度 | 2 |
kHz |
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絕對(duì)誤差 |
±0.2 |
%F.S. |
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線性度 |
0.05 |
%F.S. |
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重復(fù)精度 |
0.0025 |
%F.S. |
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信號(hào)溫度穩(wěn)定性 |
＜0.005 |
%FSO/℃ |
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長(zhǎng)期穩(wěn)定性 |
＜0.004 |
%FSO/月 |
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帶寬 |
2 |
kHz（-3dB） |
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工作溫度 |
-10~+50 |
℃ |
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存儲(chǔ)溫度 |
-10~+75 |
℃ |
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環(huán)境濕度 |
＜85 |
% | |
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供電電壓 |
24V DC/±50mA |
V | |
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電壓輸出范圍（模擬） |
0~10 |
V | |
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傳感器輸出接口 |
SMA |
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尺寸（L×W×D） |
105×26 ×66 |
mm |
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| 重量 |
180 |
g±5% |
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注：預(yù)熱時(shí)間約30分鐘。
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