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電容測微儀為一種非接觸式的位移測量儀器，它由電容傳感探頭和傳感及供電模塊組成。它可以測量 0~1mm范圍內的微小位移，測量精度高達納米級。
產品特點
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原理 它基于一個理想的平行板電容器原理，傳感器與相對面被測目標形成的兩個電極，采用保護環電容器原理，用于測量任何金屬時，傳感器仍是線性的。 
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典型應用
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| 振動，振幅，間隙，跳動 | 撓度，形變，紋波度，傾角 | 扭曲，形變，軸向振動 | 位移，距離，位置，伸長率 |
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| 尺寸，尺寸公差，篩選，部件識別 | 絕緣體厚度測量 | 在線檢測，尺寸檢測 | 雙側厚度檢測 |
| 技術參數 | |||
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型號 |
E01.CapX-1000 |
單位 |
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電容傳感探頭 |
通道數 |
1~6可選 |
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型號 |
C1D10 |
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量程范圍 |
0~1000 |
μm |
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靜態分辨率 |
10 |
nm |
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動態分辨率（1kHz） |
400 |
nm |
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線性度 |
400 |
nm |
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重復度 |
20 |
nm |
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傳感器直徑 |
10 |
mm |
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被測表面最小直徑 |
10 |
mm |
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傳感器線長 |
1.5 |
m |
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固定方式 |
徑向裝夾 |
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探頭尺寸 |
Φ10×18.5 |
mm |
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重量（含線及連接器） |
55 |
g |
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傳感與信號處理 |
型號
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E09.Cap1-100 |
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傳感器模式 |
CAP |
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單模塊通道數 |
1 |
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模塊使用數量
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1~6（取決于通道數） |
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靜態分辨率 |
0.00125 |
%F.S. |
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| 動態分辨率（2kHz） | 0.05 |
%F.S. |
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| 模擬信號輸出速度 | 2 |
kHz |
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絕對誤差 |
±0.2 |
%F.S. |
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線性度 |
0.05 |
%F.S. |
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重復精度 |
0.0025 |
%F.S. |
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信號溫度穩定性 |
＜0.005 |
%FSO/℃ |
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長期穩定性 |
＜0.004 |
%FSO/月 |
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帶寬 |
2 |
kHz（-3dB） |
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工作溫度 |
-10~+50 |
℃ |
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存儲溫度 |
-10~+75 |
℃ |
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環境濕度 |
＜85 |
% | |
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傳感器輸出接口 |
BNC |
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| 機箱與供電 |
供電模式 |
AC 220V±10％，50Hz±10％ |
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長×高×深 |
280×175 ×375 |
mm |
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| 重量 |
≈7 |
kg±5% |
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注：E01.CapX-1000的型號中，X代表通道數，可選1~6。預熱時間約30分鐘。
