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產品特點
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| 技術參數 | ||||
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型號 |
S-閉環 K-開環 |
P63.XY18Z8S |
P63.XY18Z8K |
單位 |
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運動自由度 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
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驅動控制 |
3路驅動，3路傳感 |
3路驅動 |
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標稱行程范圍（0 ~+120 V） |
XY:16, Z:6 |
XY:16, Z:6 |
μm±10% |
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Max.行程范圍（0~+150 V） |
XY:18, Z:8 |
XY:18, Z:8 |
μm±10% |
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傳感器類型 |
SGS |
- |
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閉/開環分辨率 |
XY0.6、Z0.2 |
XY0.2、Z0.1 |
nm |
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閉環線性度 |
XY:0.3, Z:1 |
- |
%F.S. |
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閉環重復定位精度 |
0.25 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滾動 |
≤15 |
≤15 |
μrad |
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空載諧振頻率 |
X2/Y2/Z1 |
X2/Y2/Z1 |
KHz±20% |
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閉/開環空載階躍時間 |
8 |
0.5 |
ms±20% |
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承載能力 |
水平安裝 |
0.5 |
0.5 |
kg |
| 立式安裝 | 0.05 | 0.05 | ||
| 倒置安裝 | 0.1 | 0.1 | ||
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靜電容量 |
XY:1.8, Z0.8 |
XY:1.8, Z0.8 |
μF±20% |
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工作溫度范圍 |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材質 |
鋁 |
鋁 |
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出線長 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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重量 |
235 |
235 |
g±5% |
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| 安裝方向 |
水平安裝 |
立式安裝 |
倒置安裝 |
| 釋義 |
將PZT平臺水平放置安裝，運動面位于PZT
平臺的上方，運動面與水平面平行。 PS：參數表中承載能力默認方向 |
將PZT平臺立式放置安裝，運動面與重力方向平行 PS：存在多種立式安裝方式，技術參數對應最低承載 |
將PZT平臺水平放置，但運動面位于定位臺的下方 |
| 示意圖 |
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| 備注 |
當安裝方式選擇為立式安裝時，需注意出線口 |
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應用案例
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硬盤測試 
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顯微鏡探針校準 
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邁克爾遜干涉儀 
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