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P60.XYZ200壓電納米定位臺是 XYZ 三維運動壓電平臺，它的行程范圍可達 200μm/ 軸。
產品特點
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位移與電壓曲線 
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線性度曲線 
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| 技術參數 | ||||
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型號 |
P60.XYZ200S |
P60.XYZ200K |
單位 |
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運動方向 |
XYZ |
XYZ |
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驅動控制 |
4路驅動，3路傳感 |
4路驅動 |
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標稱行程范圍（0 ~120 V） |
160 |
160 |
μm±10% |
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Max.行程范圍（0~150V） |
200 |
200 |
μm±10% |
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傳感器類型 |
SGS |
- |
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閉/開環分辨率 |
5.5 |
0.2 |
nm |
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閉環線性度 |
0.2 |
- |
%F.S. |
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閉環重復定位精度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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空載諧振頻率 |
270 |
270 |
Hz±20% |
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加載100g負載諧振頻率 |
110 |
110 |
Hz±20% |
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50%行程空載使用頻率 |
20 |
20 |
Hz±20% |
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靜電容量 |
14/14/7.2 |
14/14/7.2 |
μF±20% |
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臺體材料 |
鋁 |
鋁 |
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工作溫度范圍 |
-20~80 |
-20~80 |
℃ |
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承載能力 |
水平安裝 |
0.3 |
0.3 |
kg |
| 立式安裝 | 0.1 | 0.1 | ||
| 倒置安裝 | 0.1 | 0.1 | ||
| 安裝方向 |
水平安裝 |
立式安裝 |
倒置安裝 |
| 釋義 |
將PZT平臺水平放置安裝，運動面位于PZT
平臺的上方，運動面與水平面平行。 PS：參數表中承載能力默認方向 |
將PZT平臺立式放置安裝，運動面與重力方向平行 PS：存在多種立式安裝方式，技術參數對應最低承載 |
將PZT平臺水平放置，但運動面位于定位臺的下方 |
| 示意圖 |
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| 備注 |
當安裝方式選擇為立式安裝時，需注意出線口 |
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應用案例
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硬盤測試 
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顯微鏡探針校準 
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邁克爾遜干涉儀 
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