- 產品介紹
- 應用
- 意見反饋
產品特點
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| 技術參數 | |||
|
型號 |
P11.XY200Z300S P11.XY200Z300K |
單位 |
|
|
運動自由度 |
X、Y、Z |
|
|
|
驅動控制 |
3路驅動，3路傳感 |
|
|
|
驅動源 |
壓電堆棧 |
|
|
|
標稱行程范圍（0 ~+120 V） |
X130/Y130/Z250 |
μm±10% |
|
|
Max.行程范圍（0~+150 V） |
X180/Y180/Z300 |
μm±10% |
|
|
傳感器類型 |
SGS/- |
|
|
|
閉/開環分辨率 |
XY：4.5/0.2，Z:8.5/0.3 |
nm |
|
|
閉環線性度 |
0.4/- |
%F.S. |
|
|
重復定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
|
空載諧振頻率 |
X200/Y180/Z200 |
Hz±20% |
|
|
閉環工作頻率（-3dB） |
40（負載50g）/- |
Hz±20% |
|
|
承載能力 |
水平安裝 |
0.2 |
kg |
| 立式安裝 | 0.03 | ||
| 倒置安裝 | 0.05 | ||
|
靜電容量 |
X2.2/Y2.2/Z7 |
μF±20% |
|
|
材質 |
鋼、鋁 |
|
|
| 安裝方向 |
水平安裝 |
立式安裝 |
倒置安裝 |
| 釋義 |
將PZT平臺水平放置安裝，運動面位于PZT
平臺的上方，運動面與水平面平行。 PS：參數表中承載能力默認方向 |
將PZT平臺立式放置安裝，運動面與重力方向平行 PS：存在多種立式安裝方式，技術參數對應最低承載 |
將PZT平臺水平放置，但運動面位于定位臺的下方 |
| 示意圖 |
 |
 |
 |
| 備注 |
當安裝方式選擇為立式安裝時，需注意出線口 |
||
|
|
應用案例
|
硬盤測試 
|
顯微鏡探針校準 
|
邁克爾遜干涉儀 
|
