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三維 XYZ 壓電平臺，臺體采用平行運(yùn)動學(xué)機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷。開環(huán)閉環(huán)版本可供選擇。產(chǎn)品主要應(yīng)用于光學(xué)顯微、生物科技等領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點(diǎn)
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位移與電壓曲線 
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線性度曲線 
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| 技術(shù)參數(shù) | |||
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型號 |
尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) |
P13.XY50Z7S P13.XY50Z7K |
單位 |
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運(yùn)動自由度 |
X、Y、Z |
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驅(qū)動控制 |
3路驅(qū)動，3路傳感 |
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標(biāo)稱行程范圍（0~120V） |
X34/Y34/Z6 |
μm±20% |
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Max.行程范圍上限（0~150V） |
X43/Y43/Z8 |
μm±20% |
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傳感器類型 |
SGS/- |
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閉/開環(huán)分辨率 |
XY1.5/0.04 ，Z0.3/0.01 |
nm |
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閉環(huán)線性度 |
0.2/- |
%F.S. |
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閉環(huán)重復(fù)定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滾動 |
- |
μrad |
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推/拉力 |
- |
N |
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運(yùn)動方向剛度 |
- |
N/μm±20% |
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空載諧振頻率 |
X0.55/Y0.52/Z8.7 |
kHz±20% |
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閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間 |
30/3 |
ms±20% |
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承載能力 |
水平安裝 |
0.8 |
kg |
| 立式安裝 | 0.02 | ||
| 倒置安裝 | 0.05 | ||
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靜電容量 |
0.8/軸 |
μF±20% |
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材質(zhì) |
鋼、鋁 |
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重量 |
200 |
g±5% |
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| 安裝方向 |
水平安裝 |
立式安裝 |
倒置安裝 |
| 釋義 |
將PZT平臺水平放置安裝，運(yùn)動面位于PZT
平臺的上方，運(yùn)動面與水平面平行。 PS：參數(shù)表中承載能力默認(rèn)方向 |
將PZT平臺立式放置安裝，運(yùn)動面與重力方向平行 PS：存在多種立式安裝方式，技術(shù)參數(shù)對應(yīng)最低承載 |
將PZT平臺水平放置，但運(yùn)動面位于定位臺的下方 |
| 示意圖 |
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| 備注 |
當(dāng)安裝方式選擇為立式安裝時(shí)，需注意出線口 |
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應(yīng)用案例
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硬盤測試 
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顯微鏡探針校準(zhǔn) 
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邁克爾遜干涉儀 
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