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P63系列高分辨率壓電納米定位臺為小體積1~3維壓電運動平臺，平臺內部采用無摩擦、無空回的柔性鉸鏈導向機構，采用有限元仿真分析優化，柔性導向系統具有非常高的導向精度，且具有高剛性、高負載、無摩擦、免維護等特點。壓電定位臺具有非常高的控制精度，分辨率和穩定性可以達到納米量級，定位穩定時間僅為毫秒量級，運動平臺采用無磁材質，使用過程中不受磁場的影響，且壓電平臺體積小巧、結構緊湊易于集成。
產品特點
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產品運動示意圖 
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直驅機構式驅動示意圖 
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傳感器類型 
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快速響應、可選閉環傳感 P63 系列納米定位臺是超高精密納米定位系統，是為 AFM、SPM、STM 等顯微掃描納米操作等應用而設計的，具有超低慣性，響應時間可達 0.3ms，可配置高精度閉環傳感器進行高分辨率高速掃描。 |
應用實例：納米切削 P63系列三維壓電納米定位臺已廣泛應用于基于SEM在線納米切削平臺的切削力測試實驗中。 
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位移與電壓曲線 
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線性度曲線 
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諧振頻率與負載曲線 
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產品應用
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P63系列產品
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P63系列壓電納米定位臺，包括X、Z、XY、XZ、XYZ多種運動方式可選。小體積易于集成配套。 |
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| 技術參數 | ||||
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型號 |
尾綴S-閉環 尾綴K-開環 |
P63.XYZ7S |
P63.XYZ7K |
單位 |
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運動自由度 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
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驅動控制 |
3路驅動，3路傳感 |
3路驅動 |
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標稱行程范圍（0~120V） |
5.5/軸 |
5.5/軸 |
μm±10% |
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Max.行程范圍（0~150V） |
6.8/軸 |
6.8/軸 |
μm±10% |
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傳感器類型 |
SGS |
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閉/開環分辨率 |
0.2 |
0.1 |
nm |
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閉環線性度 |
0.4 |
- |
%F.S. |
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閉環重復定位精度 |
0.2 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滾動 |
<15 |
<15 |
μrad |
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推/拉力 |
7/2 |
7/2 |
N |
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運動方向剛度 |
X0.9/Y1/Z1.2 |
X0.9/Y1/Z1.2 |
N/μm±20% |
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空載諧振頻率 |
X0.9/Y0.95/Z1.2 |
X0.9/Y0.95/Z1.2 |
kHz±20% |
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閉/開環空載階躍時間 |
1.5 |
0.3 |
ms±20% |
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閉環空載 工作頻率 |
10%行程 |
200 |
200 |
Hz±20% |
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100%行程 |
50 |
50 |
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承載能力 |
水平安裝 |
0.4 |
0.4 |
kg |
| 立式安裝 | 0.05* | 0.05* | ||
| 倒置安裝 | 0.05 | 0.05 | ||
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靜電容量 |
0.8/軸 |
0.8/軸 |
μF±20% |
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材質 |
鋁 |
鋁 |
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重量 |
160 |
160 |
g±5% |
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*立式方向安裝時，其負載上限取決于具體安裝方向。
| 安裝方向 |
水平安裝 |
立式安裝 |
倒置安裝 |
| 釋義 |
將PZT平臺水平放置安裝，運動面位于PZT
平臺的上方，運動面與水平面平行。 PS：參數表中承載能力默認方向 |
將PZT平臺立式放置安裝，運動面與重力方向平行 PS：存在多種立式安裝方式，技術參數對應最低承載 |
將PZT平臺水平放置，但運動面位于定位臺的下方 |
| 示意圖 |
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| 備注 |
當安裝方式選擇為立式安裝時，需注意出線口 |
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應用案例
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硬盤測試 
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顯微鏡探針校準 
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邁克爾遜干涉儀 
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陶瓷轉接頭 |
氧化鋁轉接頭 |
金屬轉接頭 |
促動器柔性轉接頭 |
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鎢鋼墊片 |
熱穩定散熱片 |
促動器與平臺轉接座 |
促動器測試支架 |
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粘鏡片膠水 |
P34 鏡片轉接架 |
P32/ P33 鏡片轉接架 |
P32/P33 鏡片轉接座 |
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P22 測試支架 |
P32/P33 測試支架 |
P34 測試支架 |
P31/P54 測試支架 |
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BNC轉LEMO |
BNC轉魚夾 |
單芯LEMO座轉魚夾 |
單芯LEMO線 |
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BNC連接頭轉魚夾 |
LEMO 連接器 |
測試支架 |
磁力表座 |
