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P13.XYZ40 小體積壓電納米定位臺為三維 XYZ 壓電平臺，臺體采用平行運動學機構放大設計原理，內置高性能壓電陶瓷，最大位移為 48μm/ 軸。開環閉環版本可供選擇。產品主要應用于光學顯微、生物科技等領域。
產品特點
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外觀形狀 
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產品運動示意圖 
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放大機構式驅動示意圖 
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小體積、無機械間隙、高分辨率
固態鉸鏈平行四邊形設計原理，平行運動無機械間隙，該結構原理使其具有高的分辨率，運動直線性好。 |
傳感器類型 
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閉環階躍穩定時間圖 P13.XY50S滿行程的穩定時間約為30ms。 
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位移與電壓曲線 
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諧振頻率與負載曲線 
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線性度曲線 
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產品應用
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P13全系列產品
| 技術參數 | |||
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型號 |
尾綴S-閉環 尾綴K-開環 |
P13.XYZ40S P13.XYZ40K |
單位 |
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運動自由度 |
X、Y、Z |
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驅動控制 |
3路驅動，3路傳感 |
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標稱行程范圍（0~120V） |
38/軸 |
μm±20% |
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Max.行程范圍上限（0~150V） |
48/軸 |
μm±20% |
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傳感器類型 |
SGS/- |
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閉/開環分辨率 |
5/0.05 |
nm |
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閉環線性度 |
0.2/- |
%F.S. |
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閉環重復定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滾動 |
<50 |
μrad |
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推/拉力 |
10/3 |
N |
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運動方向剛度 |
0.5 |
N/μm±20% |
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空載諧振頻率 |
0.6 |
kHz±20% |
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閉/開環空載階躍時間 |
20/3 |
ms±20% |
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承載能力 |
水平安裝 |
0.2 |
kg |
| 立式安裝 | 0.05或0.1* | ||
| 倒置安裝 | 0.05 | ||
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靜電容量 |
0.4/軸 |
μF±20% |
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材質 |
鋁鋼，低溫強磁可選 |
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重量 |
55(不含線) |
g±5% |
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注：以上參數是采用 E00/E01 系列壓電控制器測得。最大驅動電壓可在 -20V~150V；對于高可靠的長期使用，建議驅動電壓在 0~120V。
*立式方向安裝時，其負載上限取決于具體安裝方向。
| 安裝方向 |
水平安裝 |
立式安裝 |
倒置安裝 |
| 釋義 |
將PZT平臺水平放置安裝，運動面位于PZT
平臺的上方，運動面與水平面平行。 PS：參數表中承載能力默認方向 |
將PZT平臺立式放置安裝，運動面與重力方向平行 PS：存在多種立式安裝方式，技術參數對應最低承載 |
將PZT平臺水平放置，但運動面位于定位臺的下方 |
| 示意圖 |
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| 備注 |
當安裝方式選擇為立式安裝時，需注意出線口 |
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應用案例
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硬盤測試 
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顯微鏡探針校準 
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邁克爾遜干涉儀 
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陶瓷轉接頭 |
氧化鋁轉接頭 |
金屬轉接頭 |
促動器柔性轉接頭 |
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鎢鋼墊片 |
熱穩定散熱片 |
促動器與平臺轉接座 |
促動器測試支架 |
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粘鏡片膠水 |
P34 鏡片轉接架 |
P32/ P33 鏡片轉接架 |
P32/P33 鏡片轉接座 |
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P22 測試支架 |
P32/P33 測試支架 |
P34 測試支架 |
P31/P54 測試支架 |
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BNC轉LEMO |
BNC轉魚夾 |
單芯LEMO座轉魚夾 |
單芯LEMO線 |
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BNC連接頭轉魚夾 |
LEMO 連接器 |
測試支架 |
磁力表座 |
