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XD810三維抑振平臺的內(nèi)部分為起振結(jié)構(gòu)與減震（阻振）結(jié)構(gòu)，通過控制起振結(jié)構(gòu)進行振動及位移輸出，再通過算法控制阻振結(jié)構(gòu)進行反向抑制振動及位移輸出，從而實現(xiàn)抑制振動的目的。
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原理 閉環(huán)多維振動系統(tǒng)的基本控制原理框圖如下所示。 
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XD810控制通道示意圖 
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推薦控制器 
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| 技術參數(shù) | ||
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型號 |
XD810參數(shù) |
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性能 |
起振結(jié)構(gòu) |
減震結(jié)構(gòu) |
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XY行程 |
28um±20% |
28um±20% |
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Z行程 |
15um±20% |
15um±10% |
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X固有頻率 |
500Hz±20% |
500Hz±20% |
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Y固有頻率 |
450Hz±20% |
400Hz±20% |
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Z固有頻率 |
400Hz±20% |
240Hz±20% |
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使用頻率上限 |
20Hz±20% |
20Hz±20% |
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XY靜電容量 |
7.2μF/軸±20% |
7.2μF/軸±20% |
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Z靜電容量 |
5.7μF±20% |
3.6μF±20% |
應用案例
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硬盤測試 
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顯微鏡探針校準 
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邁克爾遜干涉儀 
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