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P66.XZ100Y30系列高分辨率壓電納米定位臺內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可在三維方向實現(xiàn)X125/Y35/Z105μm位移。平臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構，一體化的結構設計。閉環(huán)版本傳感器使用全橋配置以消除熱漂移，確保了納米級定位精度和重復度。
產(chǎn)品特點
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產(chǎn)品應用
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| 技術參數(shù) | ||||
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型號 |
尾綴S-閉環(huán)
尾綴K-開環(huán)
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P66.XZ100Y30S |
P66.XZ100Y30K |
單位 |
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運動自由度 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
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驅動控制 |
3路驅動，3路傳感 |
3路驅動 |
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標稱行程范圍（0~120V） |
X100/Y28/Z85 |
X100/Y28/Z85 |
μm±10% |
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Max.行程范圍（0~150V） |
X125/Y35/Z105 |
X125/Y35/Z105 |
μm±10% |
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傳感器類型 |
SGS |
- |
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閉/開環(huán)分辨率 |
XZ4/Y1.2 |
XZ1.5/Y0.5 |
nm |
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閉環(huán)線性度 |
X0.036/Y0.019/Z0.15 |
- |
%F.S. |
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閉環(huán)重復定位精度 |
X0.017/Y0.022/Z0.165 |
- |
%F.S. |
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俯仰/滾動/偏航 |
XY＜5，Z＜25 |
XY＜5，Z＜25 |
μrad |
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空載諧振頻率 |
X270/Y475/Z560 |
X270/Y475/Z560 |
Hz±20% |
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帶載諧振頻率@300g(立式安裝) |
X140/Y230/Z400 |
X140/Y230/Z400 |
Hz±20% |
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承載能力 |
水平安裝 |
1 |
1 |
kg |
| 立式安裝 | 0.5 | 0.5 | ||
| 倒置安裝 | 0.5 | 0.5 | ||
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閉/開環(huán)空載階躍時間 |
XZ40/Y10@300g |
XZ15/Y5 |
ms±20% |
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靜電容量 |
XY7/Z14 |
XY7/Z14 |
μF±20% |
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工作溫度范圍 |
-20~65 |
-20~65 |
℃ |
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重量（含線） |
800 |
800 |
g±5% |
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材質(zhì) |
鋼、鋁 |
鋼、鋁 |
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| 安裝方向 |
水平安裝 |
立式安裝 |
倒置安裝 |
| 釋義 |
將PZT平臺水平放置安裝，運動面位于PZT
平臺的上方，運動面與水平面平行。 PS：參數(shù)表中承載能力默認方向 |
將PZT平臺立式放置安裝，運動面與重力方向平行 PS：存在多種立式安裝方式，技術參數(shù)對應最低承載 |
將PZT平臺水平放置，但運動面位于定位臺的下方 |
| 示意圖 |
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| 備注 |
當安裝方式選擇為立式安裝時，需注意出線口 |
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應用案例
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硬盤測試 
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顯微鏡探針校準 
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邁克爾遜干涉儀 
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