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三維 XYZ 小體積壓電納米定位臺，臺體采用平行運動學機構放大設計原理，內置高性能壓電陶瓷。開環閉環版本可供選擇。產品主要應用于光學顯微、生物科技等領域。
產品特點
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| 技術參數 | |||
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型號 |
尾綴S-閉環 尾綴K-開環 |
P13.XY100Z10S
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單位 |
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運動自由度 |
X、Y、Z |
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驅動控制 |
3路驅動，3路傳感 |
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標稱行程范圍（0~120V） |
XY92/Z8 |
μm±10% |
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Max.行程范圍上限（0~150V） |
XY115/Z10 |
μm±10% |
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傳感器類型 |
SGS/- |
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閉/開環分辨率 |
XY1.5/0.04，Z0.3/0.01 |
nm |
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閉環線性度 |
X0.05/-，/Y0.02/-，Z0.3/- |
%F.S. |
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閉環重復定位精度 |
X0.008/-，Y0.013/-，Z0.055/- |
%F.S. |
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空載諧振頻率 |
XY0.06/Z0.16@500g |
kHz±20% |
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閉/開環空載階躍時間 |
XY30@1μm，500g/3 |
ms±20% |
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承載能力 |
水平安裝 |
0.8 |
kg |
| 立式安裝 | 0.02或0.5 | ||
| 倒置安裝 | 0.02 | ||
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靜電容量 |
XY1.6/Z0.8 |
μF±20% |
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材質 |
鋼、鋁 |
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重量 |
230 |
g±5% |
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| 安裝方向 |
水平安裝 |
立式安裝 |
倒置安裝 |
| 釋義 |
將PZT平臺水平放置安裝，運動面位于PZT
平臺的上方，運動面與水平面平行。 PS：參數表中承載能力默認方向 |
將PZT平臺立式放置安裝，運動面與重力方向平行 PS：存在多種立式安裝方式，技術參數對應最低承載 |
將PZT平臺水平放置，但運動面位于定位臺的下方 |
| 示意圖 |
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| 備注 |
當安裝方式選擇為立式安裝時，需注意出線口 |
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應用案例
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硬盤測試 
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顯微鏡探針校準 
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邁克爾遜干涉儀 
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