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P65系列高分辨率壓電納米定位臺是以壓電陶瓷作為驅動源，結合柔性鉸鏈機構可實現X軸、Y軸和Z軸三維精密運動的壓電平臺，驅動形式為放大機構式驅動。內置高性能壓電陶瓷，可實現XY200μm、Z50μm的位移。開/閉環版本可供選擇，真空版本可定制，更大行程版本可定制。閉環定位精度可達XY0.017%F.S.、Z0.006%F.S.，非常適合高精度定位應用。
產品特點
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| 技術參數 | ||||
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型號 |
P65.XY200Z50S
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P65.XY200Z50K |
單位 |
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運動自由度 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
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驅動控制 |
8路驅動，8路傳感 |
8路驅動 |
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標稱行程范圍（0~120V） |
XY160/Z40 |
XY160/Z40 |
μm±10% |
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Max.行程范圍上限（0~150V） |
XY200/Z50 |
XY200/Z50 |
μm±10% |
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傳感器類型 |
SGS |
- |
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分辨率 |
XY3/Z2 |
XY1/Z0.6 |
nm |
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閉環線性度 |
XY0.015/Z0.007 |
- |
%F.S. |
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閉環重復定位精度 |
XY0.017/Z0.006 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滾動 |
＜10 |
＜10 |
μrad |
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空載諧振頻率 |
X260/Y220/Z280 |
X260/Y220/Z280 |
Hz±20% |
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帶載諧振頻率@500g |
150 |
150 |
Hz±20% |
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閉/開環空載階躍時間 |
100@500g |
10 |
ms±20% |
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承載能力 |
水平安裝 | 1 |
1 |
kg |
| 立式安裝 | 0.1 | 0.1 | ||
| 倒置安裝 | 0.2 | 0.2 | ||
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靜電容量 |
XY13.6/Z3.2 |
XY13.6/Z3.2 |
μF±20% |
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材質 |
鋼、鋁 |
鋼、鋁 |
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重量 |
1.24 |
1.24 |
kg±5% |
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| 安裝方向 |
水平安裝 |
立式安裝 |
倒置安裝 |
| 釋義 |
將PZT平臺水平放置安裝，運動面位于PZT
平臺的上方，運動面與水平面平行。 PS：參數表中承載能力默認方向 |
將PZT平臺立式放置安裝，運動面與重力方向平行 PS：存在多種立式安裝方式，技術參數對應最低承載 |
將PZT平臺水平放置，但運動面位于定位臺的下方 |
| 示意圖 |
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| 備注 |
當安裝方式選擇為立式安裝時，需注意出線口 |
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應用案例
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硬盤測試 
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顯微鏡探針校準 
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邁克爾遜干涉儀 
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