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P66.XYZ直驅壓電平移臺，是三維XYZ軸運動高分辨率壓電定位臺，采用壓電陶瓷直驅機構的設計原理，具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點，配置高精度傳感器，可以實現納米級分辨率、定位精度具有高的可靠性，壓電平移臺在精密定位領域中發揮著重要的作用。
產品特點
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產品運動示意圖 
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產品運動示意圖 
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直驅機構式驅動示意圖 
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開環與閉環版本可選 P66系列壓電納米定位臺可以選擇開環或閉環版本，閉環版本壓電納米定位臺內部配有高分辨率及快速響應的應變傳感器（SGS），配備在驅動機構的合適位置，它可向控制器反饋高帶寬、高精度的電壓信號。 傳感器使用全橋配置以消除熱漂移，使得該系列納米定位臺可以實現滿行程0.05%的線性度與重復度。 |
傳感器類型 
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應用實例：原子力探針掃描顯微鏡 芯明天P66.XY壓電納米定位臺以其高響應頻率、高精度、高可靠性等優勢廣泛應用于原子力探針掃描顯微鏡中。 
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位移與電壓曲線 
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諧振頻率與負載曲線 
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線性度曲線 
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產品應用
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| 技術參數 | ||||
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型號 |
尾綴S-閉環 尾綴K-開環 |
P66.XYZ30S P66.XYZ30K |
單位 |
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運動自由度 |
X、Y、Z |
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驅動控制 |
3路驅動，3路傳感 |
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標稱行程范圍（0~120V） |
24/軸 |
μm±10% |
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Max.行程范圍上限（0~150V） |
30/軸 |
μm±10% |
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傳感器類型 |
SGS/- |
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閉/開環分辨率 |
1/0.5 |
nm |
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閉環線性度 |
0.15/- |
%F.S. |
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閉環重復定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滾動 |
<15 |
μrad |
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推/拉力 |
30/10 |
N |
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運動方向剛度 |
1.1 |
N/μm±20% |
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空載諧振頻率 |
X0.6/Y0.7/Z1.2 |
kHz±20% |
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閉/開環空載階躍時間 |
30/1 |
ms±20% |
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閉環工作頻率（-3dB） |
100（空載） |
Hz±20% |
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承載能力 |
水平安裝 |
1 |
kg |
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立式安裝 |
0.05 | |||
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倒置安裝 |
0.1 | |||
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靜電容量 |
3.6/軸 |
μF±20% |
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材質 |
鋁 |
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重量 |
460 |
g±5% |
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| 安裝方向 |
水平安裝 |
立式安裝 |
倒置安裝 |
| 釋義 |
將PZT平臺水平放置安裝，運動面位于PZT
平臺的上方，運動面與水平面平行。 PS：參數表中承載能力默認方向 |
將PZT平臺立式放置安裝，運動面與重力方向平行 PS：存在多種立式安裝方式，技術參數對應最低承載 |
將PZT平臺水平放置，但運動面位于定位臺的下方 |
| 示意圖 |
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| 備注 |
當安裝方式選擇為立式安裝時，需注意出線口 |
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應用案例
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硬盤測試 
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顯微鏡探針校準 
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邁克爾遜干涉儀 
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陶瓷轉接頭 |
氧化鋁轉接頭 |
金屬轉接頭 |
促動器柔性轉接頭 |
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鎢鋼墊片 |
熱穩定散熱片 |
促動器與平臺轉接座 |
促動器測試支架 |
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粘鏡片膠水 |
P34 鏡片轉接架 |
P32/ P33 鏡片轉接架 |
P32/P33 鏡片轉接座 |
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P22 測試支架 |
P32/P33 測試支架 |
P34 測試支架 |
P31/P54 測試支架 |
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BNC轉LEMO |
BNC轉魚夾 |
單芯LEMO座轉魚夾 |
單芯LEMO線 |
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BNC連接頭轉魚夾 |
LEMO 連接器 |
測試支架 |
磁力表座 |
