- 產品介紹
- 意見反饋
XD611.XYZ500 壓電納米定位臺是一款三維運動的壓電平 臺，行程可高達 500μm，適用于小型樣品的三維納米定位應用。
產品特點
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
運動方向 
|
產品應用
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| 技術參數 | ||||
|
型號 |
XD611.XYZ500S |
XD611.XYZ500K |
單位 |
|
|
運動自由度 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
|
|
|
驅動控制 |
3路驅動，3路傳感 |
3路驅動 |
|
|
|
標稱行程（0~120V） |
400/ 軸 |
400/ 軸 |
μm±20% |
|
|
Max.行程范圍（0~150V） |
500/ 軸 |
500/ 軸 |
μm±20% |
|
|
傳感器類型 |
SGS，全閉環 |
- |
|
|
|
分辨率 |
18 |
7 |
nm |
|
|
閉環線性度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
|
|
重復定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
|
|
空載諧振頻率 |
X0.08/Y0.13/Z0.08 |
X0.08/Y0.13/Z0.08 |
kHz±20% |
|
|
承載能力 |
水平安裝 |
0.2 |
0.2 |
kg |
| 立式安裝 | 0.02 | 0.02 | ||
| 倒置安裝 | 0.02 | 0.02 | ||
|
靜電容量 |
14.4/ 軸 |
14.4/ 軸 |
μF±20% |
|
|
重量（含線） |
850 |
850 |
g±5% |
|
|
材質 |
鋼、鋁 |
鋼、鋁 |
|
|
注：以上參數是采用 E00/E01 系列壓電控制器測得。最大驅動電壓可在 -20V~150V；對于高可靠的長期使用，建議驅動電壓在 0~120V。
| 安裝方向 |
水平安裝 |
立式安裝 |
倒置安裝 |
| 釋義 |
將PZT平臺水平放置安裝，運動面位于PZT
平臺的上方，運動面與水平面平行。 PS：參數表中承載能力默認方向 |
將PZT平臺立式放置安裝，運動面與重力方向平行 PS：存在多種立式安裝方式，技術參數對應最低承載 |
將PZT平臺水平放置，但運動面位于定位臺的下方 |
| 示意圖 |
 |
 |
 |
| 備注 |
當安裝方式選擇為立式安裝時，需注意出線口 |
||
應用案例
|
硬盤測試 
|
顯微鏡探針校準 
|
邁克爾遜干涉儀 
|
