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XD731.XYZ100大負載壓電納米定位臺是專為真空應用環境而設計，它的真空兼容度可達 10^-7mbar。
產品特點
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運動方向 
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產品應用
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| 技術參數 | ||||
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型號 |
XD731.XYZ100S |
XD731.XYZ100K |
單位 |
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運動自由度 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
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驅動行程 |
4路驅動，3路傳感 |
4路驅動 |
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標稱行程（0~120V） |
80/軸 |
80/軸 |
μm±10% |
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Max.行程范圍（0~150V） |
100/軸 |
100/軸 |
μm±10% |
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傳感器類型 |
SGS |
- |
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閉/開環分辨率 |
3 |
1 |
nm |
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閉環線性度 |
0.07 |
- |
%F.S. |
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閉環重復定位精度 |
0.03 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滾動 |
≤35 |
≤35 |
μrad |
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推/拉力 |
50/15 |
50/15 |
N |
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運動方向剛度 |
1.5/1.5/0.9 |
1.5/1.5/0.9 |
N/μm±20% |
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空載諧振頻率 |
400 |
400 |
Hz±20% |
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帶載250g諧振頻率 |
150 |
150 |
Hz±20% |
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空載階躍時間 |
20 |
<20 |
ms±20% |
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加載250g負載階躍時間 |
30 |
- |
ms±20% |
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承載能力 |
水平安裝 |
0.5 |
0.5 |
kg |
| 立式安裝 | 0.2 | 0.2 | ||
| 倒置安裝 | 0.2 | 0.2 | ||
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靜電容量 |
7.2/軸 |
7.2/軸 |
μF±20% |
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臺體材質 |
鋼、鋁 |
鋼、鋁 |
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臺體質量 |
680 |
680 |
g±5% |
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使用環境真空度 |
真空10E-7 |
真空10E-7 |
mbar |
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注：以上參數是采用 E00/E01 系列壓電控制器測得。最大驅動電壓可在 -20V~150V；對于高可靠的長期使用，建議驅動電壓在 0~120V。
| 安裝方向 |
水平安裝 |
立式安裝 |
倒置安裝 |
| 釋義 |
將PZT平臺水平放置安裝，運動面位于PZT
平臺的上方，運動面與水平面平行。 PS：參數表中承載能力默認方向 |
將PZT平臺立式放置安裝，運動面與重力方向平行 PS：存在多種立式安裝方式，技術參數對應最低承載 |
將PZT平臺水平放置，但運動面位于定位臺的下方 |
| 示意圖 |
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| 備注 |
當安裝方式選擇為立式安裝時，需注意出線口 |
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應用案例
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硬盤測試 
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顯微鏡探針校準 
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邁克爾遜干涉儀 
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