
由于壓電定位技術具有很多獨特之處,例如快速響應、剛性好、長壽命、無限的分辨率等,很快在從半導體測試設備到精密機械加工等許多領域中得到應用。其中,具有代表性的應用為用于精密加工的壓電快速機床伺服系統,該類系統通常裝有特殊的防水外殼,并提供與機床相聯的機械接口。
壓電定位系統內置測量/傳感子系統,分辨率達到納米至亞納米級,通過數字或模擬控制器可閉環工作。柔性導向機構及運動放大機構可以在增大行程的同時保護壓電陶瓷免受離軸力(側向力和扭矩)的破壞。
壓電促動器產品廣泛用于世界各地的工廠中,每天工作24小時,一周7天。它們的使用大大提高了光學器件、曲軸、軸承、活塞、汽缸等的加工精度,成為機床中金剛石修整、研磨、拋光、非圓鏜孔和磨損補償等關鍵工藝的核心部件。
高性能壓電促動器的壽命可以達到數十億次往復循環,帶有能量回收功能的功率放大器峰值功率達到2000W,能夠滿足高動態工業應用的要求。
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應用 |
解決方案 |
典型產品 |
產品展示 |
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光學、軸承、活塞、曲面等的 |
長壽命壓電促動器與放大器 研磨用精密壓電定位臺 用于快速加工頭控制的壓電促動器 |
VS35~45 預負載大推力壓電促動器 |
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非球面光學加工 |
壓電促動器與放大器 壓電定位臺 納米定位器 定制納米臺 |
VS18~VS25壓電堆促動器
P93快速刀具定位器 |
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激光焊接/切割系統的聚焦/光束控制 |
壓電促動器 |
P33高分辨率高動態偏擺鏡 VS15/VS20 預負載壓電促動器 多層壓電堆型促動器 |
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主動減振 |
長壽命壓電促動器及 |
高壓封裝式壓電陶瓷 疊堆型壓電陶瓷 |
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