測量/激光技術/光學檢測/摩擦學
我公司精密定位臺和促動器已經在許多非接觸式光學檢測系統和接觸式納米測量系統中大量運用。我公司定位產品所具備的亞納米精度、一致性好、納米至亞納米級的平面度和直線度是這些領域技術突破的前提。通過應用高級數字控制方法，掃描線性度可以提高數個數量級，而跟蹤誤差減小到亞原子水平。我公司的電容納米測量傳感器可以測量亞納米范圍的運動并具有很高的帶寬。
我公司的壓電驅動促動器和納米定位傳感器同時也是納米壓印/微米壓印機構以及納米摩擦學/納米制造實驗的理想組件。
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應用 |
解決方案 |
典型產品 |
產品展示 |
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掃描干涉 白光干涉 |
物鏡納米聚焦系統 壓電掃描臺 Z向移相器 |
XP-721/P72物鏡壓電驅動器 P16小型XY掃描 |
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納米材料測試 納米摩擦學 納米厚度測量 納米壓印 接觸式表面形貌儀 |
音圈掃描器 微定位臺 壓電直線平移臺 |
VS12系列預負載壓電促動器 P16 XY壓電掃描器 |
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