壓電馬達內部仍為壓電陶瓷驅動,它分為直線運動型及角度運動型,利用粘滑原理,通過壓電陶瓷的快速振動,達到微納米級的步進,總直線運動行程范圍可達幾百毫米,角度行程可達360度。
應變傳感器主要用于測量一個結構表面的形變,具有非常高的測量敏感度,可間接進行力的測量,力的過程監控等。