電容式非接觸式測微儀，通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內的微小位移，測量精度為納米級。測微儀由機箱與傳感模塊組成，可組成多測量通道數。
它基于一個理想的平行板電容器原理，傳感器與相對面被測目標形成的兩個電極，采用保護環電容器原理，用于測量任何金屬時，傳感器仍是線性的。
- 電容測微儀
- 板卡式電容測微儀 -1000μm量程，單通道，無供電模塊
- 板卡式電容測微儀 -500μm量程，單通道，無供電模塊
- 板卡式電容測微儀 - 200μm量程，單通道，無供電模塊
- 板卡式電容測微儀 - 200μm量程，單通道，無供電模塊
- 板卡式電容測微儀 - 100μm量程，單通道，無供電模塊
- 小體積電容測微儀 -1000μm量程，單通道
- 小體積電容測微儀 -500μm量程，單通道
- 小體積電容測微儀 - 200μm量程，單通道
- 小體積電容測微儀 - 200μm量程，單通道
- 小體積電容測微儀 - 100μm量程，單通道
- 機箱式電容測微儀 - 1000μm量程（E00機箱，7~12通道）
- 機箱式電容測微儀 - 500μm量程（E00機箱，7~12通道）
- 機箱式電容測微儀 - 200μm量程（E00機箱，7~12通道）
- 機箱式電容測微儀 - 200μm量程（E00機箱，7~12通道）
- 機箱式電容測微儀 - 100μm量程（E00機箱，7~12通道）
- 機箱式電容測微儀 -1000μm量程（E01機箱，1~6通道）
- 機箱式電容測微儀 -500μm量程（E01機箱，1~6通道）
- 機箱式電容測微儀 - 200μm量程（E01機箱，1~6通道）
- 機箱式電容測微儀 - 200μm量程（E01機箱，1~6通道）
