六自由度平臺可在六個自由度即X、Y、Z、θx、θy、θz方向產生運動。它的并聯結構設計是通過六個壓電促動器相聯接，每個促動器通過鉸鏈與運動平面相連接。而整個運動平臺的運動就是通過這六個分支的壓電驅動促動器的伸縮來實現，它是一種復雜的六自由度相協調的空間運動。
與傳統的疊堆式平臺相比，它具有更高的剛度，更高的負載能力，且它的結構設計復雜，誤差也較平均化，響應速度更快。但它要比其它單獨直線或單獨偏轉的平臺要更難控制，對軟件的設計要求也更高。
六自由度并聯機構具有非常高的靈活度，可做六個自由度的任意方向的超精密運動。 六自由度并聯機構的應用非常廣泛，包括醫療研究、光學系統、顯微成像、納米精度定位等。
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型號選擇請參考六自由度并聯機構造型指南。
