三維壓電納米定位臺當前位置：產品首頁 >> 三維壓電納米定位臺

壓電納米定位臺是以壓電陶瓷做為基礎元件驅動的壓電平移臺，X 軸，XY 軸，XYZ 軸多維壓電平移臺，驅動形式包含壓電陶瓷直驅式以及機機構放大式兩種驅動形式。相同驅動電壓下，機構放大平臺的位移是直驅平臺位移的幾倍至幾十倍；直驅平臺的響應速度要比機構放大平臺的速度快。壓電平移臺的運動行程范圍最大可達 300μm，且它具有納米級分辨率以及毫秒級的相應時間。在精密定位領域中發揮著至關重要的作用，且應用非常廣泛，例如顯微掃描、光路調整、納米操控技術、CCD 圖像處理、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測量、顯微操作、納米壓印等。