新品推薦-150mm×150mm大通光孔！S51.ZT1S150大負載壓電偏擺臺
在精密光學系統、先進顯微成像及半導體檢測等應用中，對光束或樣品平臺進行高精度、多自由度的動態調節是一項關鍵技術需求。哪怕光路對準偏差一點點，或者樣品位置偏移一絲一毫，都可能導致產生誤差甚至造成實驗失敗。因此，高精度的姿態調節能力就成為了這些領域的核心需求。
我們在現有S51系列大負載壓電偏擺臺的成熟技術基礎上，研發了新型S51.ZT1S150壓電偏擺臺。這款新品在通光孔徑、運動行程與負載能力等關鍵指標上進行了針對性設計與平衡，在滿足中等通光需求的同時，兼顧高負載與多軸運動能力，為更多復雜應用場景提供可靠支持。
01
壓電偏擺臺：精密調姿領域的利器
壓電偏擺臺之所以成為高端精密設備中的核心產品，離不開它幾項突出的技術特點：
1.柔性鉸鏈導向結構：無摩擦、無間隙、無回差，確保長期運行的穩定性和重復定位精度；
2.高分辨率：直線運動分辨率可達納米級、偏轉分辨率達亞微弧度級，滿足精密調姿需求；
3.快速響應：階躍響應時間可達毫秒級，能快速完成姿態調整，適配高速掃描與動態追蹤需求；
4.低功耗與緊湊設計：功耗低，無電磁輻射，緊湊的結構便于集成到各類空間有限的光學系統中；
5.高剛度、免維護：可在復雜工況下長期穩定運行，為各類高要求精準調姿場景提供核心支撐。
S51.ZT1S150大負載壓電偏擺臺
02
新品S51.ZT1S150的核心優勢
作為S51系列的新款產品，S51.ZT1S150不僅繼承了原有優勢，更在關鍵參數上實現了精準突破。
1.通光孔精準補位，適配更多光路需求
在光學應用中，通光孔尺寸直接決定光路兼容性，太小無法適配大口徑光學元件，太大則可能造成設備冗余。S51.ZT1S150的150mm×150mm通光孔規格設計，正好填補了原有S51系列的尺寸空白。無論是安裝中等尺寸光學鏡片、進行大面積樣品掃描，還是多光束合束時的通光需求，S51.ZT1S150都能實現更精準適配，大幅提升了設備的適配靈活性。
2.多維度精準控姿，Z向大行程位移
S51.ZT1S150支持θx和θy兩個方向的角度偏擺，偏擺角度可達±0.9mrad，滿足大多數精密場景的角度調整需求；同時配備Z軸升降功能，行程可達200μm，可以更精準地適配納米聚焦、多層樣品檢測等需要大行程Z向調整的場景。
3.承襲大負載優勢，適配復雜工況
S51系列壓電偏擺臺的大負載能力廣受市場認可，S51.ZT1S150延續了這一核心基因，最高可承載1.5kg負載。無論是搭載較重的光學元件、掩模組件，還是大面積樣品臺，S51.ZT1S150都能穩定運行，無需擔心負載不足導致的定位漂移或臺體變形，可滿足中等或中型負載場景的復雜工況需求。
03
多元應用場景：覆蓋多行業精準調姿需求
憑借全面的性能優勢，S51.ZT1S150可廣泛應用于多個高精尖領域：
1.高精度激光加工：如激光切割、激光焊接等場景，S51.ZT1S150可實現激光光束的精準指向與微調，配合大通光孔適配中等口徑激光，提升加工精度與效率
2.微納制造與半導體：用于中等尺寸掩模或晶圓的位置微調，確保對準精度，助力提升芯片良率。
3.航空航天：可用于空間擾動模擬系統，提供微小角度激勵，輔助驗證振動抑制算法。
4.科研與生物技術：在掃描顯微場景中，精準的偏擺與Z向調節能力可實現樣品的全方位精細掃描；200μm的Z向行程可適配不同深度的納米聚焦需求，為超分辨成像、細胞精細操作等生物技術研究提供穩定支撐。
5.計量檢測設備校準：在干涉儀、計量儀等設備的校準場景，S51.ZT1S150的高穩定性與納米級定位能力，能幫助提升校準精度和數據可靠性。
實測曲線
電壓與位移曲線
重復度曲線
線性度曲線
技術參數
|
型號 |
S51.ZT1S/K150 |
|
運動自由度 |
θx、θy、Z |
|
驅動控制 |
3路驅動，3路傳感/3路驅動 |
|
θx、θy標稱偏轉角度(0~120V） |
1.4mrad/±0.7mrad（≈±144秒） |
|
Max.θx、θy偏轉角度(0~150V） |
1.8mrad/±0.9mrad（≈±186秒） |
|
Z向標稱行程(0~120V） |
160μm |
|
Max.Z向行程范圍(0~150V） |
200μm |
|
傳感器類型 |
SGS/- |
|
通孔尺寸 |
150mm×150mm |
|
閉/開環θx、θy偏轉分辨率 |
0.25μrad（≈0.05秒）/0.08μrad（≈0.02秒） |
|
閉/開環Z向直線分辨率 |
7nm/0.5nm |
|
閉環線性度 |
θx0.03%F.S.\θy0.02%F.S.\Z0.01%F.S./- |
|
閉環重復定位精度 |
θx0.03%F.S.\θy0.01%F.S.\Z0.01%F.S./- |
|
空載諧振頻率 |
150Hz |
|
帶載諧振頻率 |
87Hz@750g |
|
閉/開環空載階躍時間 |
100ms@750g/35ms |
|
靜電容量 |
3.6μF/軸 |
|
承載能力 |
1.5kg |
|
材質 |
不銹鋼、鋁合金 |
|
重量 |
1230g |
推薦控制器
E70.D3S-L多通道壓電控制器是基于標準E70壓電控制器進行通信接口變換的三通道壓電控制器，可通過串口、USB或網口進行數字通信，適用于驅動S51.ZT1S150系列壓電偏擺臺。E70.D3S-L控制器采用DC24V供電，可通過模擬或數字信號進行閉環控制，上位機軟件支持二次開發。
更多詳情歡迎致電芯明天0451-86268790、17051647888（微信同號）！
