邁克爾遜干涉儀中的壓電移相器
更新時間：2020-06-12 14:31:55點擊次數：6216次
P66.Z納米定位臺的運動示意圖
（注：為便于觀看，運動范圍已被放大）
P63.Z壓電納米定位臺技術參數
型號：P63.Z7S
運動自由度：Z
標稱行程（0~120V）：5.5μm
行程范圍（0~150V）：6.8μm
傳感器類型：SGS
閉/開環分辨率：0.2/0.1nm
閉環線性度：0.4%F.S.
閉環重復定位精度：0.2%F.S.
俯仰/偏航/滾動：<5μrad
推/拉力：10/2N
運動方向剛度：1.5N/μm
空載諧振頻率：2kHz
閉/開環空載階躍時間：1.5/0.3ms
滿行程閉環空載工作頻率：達200Hz
承載：0.8kg
靜電容量：0.8μF
材質：鋁
重量：70g
